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派瑞林真空镀膜机 Parylene镀膜系统

派瑞林真空镀膜机 Parylene镀膜系统专为实验室应用优化设计,配备内置等离子体源,可用于材料表面预处理,可以有效提升膜基结合性能。派瑞林镀膜(Parylene)是一种通过化学气相沉积(CVD)工艺形成的超薄聚合物保护层,具有分子级均匀覆盖、化学惰性、优异介电性能及生物相容性等特点‌。

  • 产品型号:
  • 厂商性质:生产厂家
  • 更新时间:2025-08-21
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产品详情

派瑞林真空镀膜机 Parylene镀膜系统专为实验室应用优化设计,配备内置等离子体源,可用于材料表面预处理,可以有效提升膜基结合性能。派瑞林镀膜(Parylene)是一种通过化学气相沉积(CVD)工艺形成的超薄聚合物保护层,具有分子级均匀覆盖、化学惰性、优异介电性能及生物相容性等特点‌。



派瑞林真空镀膜机 Parylene镀膜系统


该型号的派瑞林真空镀膜机 Parylene镀膜系统具有以下特点:

1、该型号Parylene镀膜系统既适用于科研实验室,也可用于生产环境;

2、特别针对中小型企业和研发团队的需求进行功能优化;

3、通过配置多种可选组件,进一步提升设备的适用性与灵活性,其工艺腔室容积可根据需求调整,最小容积可达 251 L;

4、设备标准配置包含等离子体处理模块;

5、提供洁净室专用版本供选择;


Parylene涂层典型应用:

‌电机防护‌:微型电机绕组、轴承的防腐蚀与润滑保持,盐雾寿命提升10倍‌

‌半导体封装‌:芯片级防潮、MEMS器件三维结构保护及晶圆临时镀膜‌

‌LED照明‌:提升光提取效率、散热性能及耐候性,寿命延长至7万小时‌

‌汽车电子‌:ECU模块防护,耐受-40~150℃温度波动及盐雾环境‌


Labcoater Series 300 派瑞林真空镀膜设备:

尺寸
L:1220mm  W:1050mm  H:1920mm
重量110kg
腔体容量25/35/40/80L
工艺腔体

300mm Ø,H: 300mm (25 Liter)

300mm Ø,H: 350mm (35 Liter)

450mm Ø,H: 500mm (80 Liter

等离子源
2.45GHz,600 W
气路
1 路气体通道(内置工艺腔室的气体分配系统),最多可扩展至 3 路气体通道。
冷却系统
4L(机电式冷阱)
真空系统
DIN 40 ISO-KF
排气
电磁式排气阀
真空泵
抽速50m³/h
电气连接
三相五线制,交流 50 Hz,电压 400 V / 240 V,最大功率消耗 8.5 kW


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