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派瑞林真空镀膜机 Parylene镀膜系统
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派瑞林真空镀膜机 Parylene镀膜系统专为实验室应用优化设计,配备内置等离子体源,可用于材料表面预处理,可以有效提升膜基结合性能。派瑞林镀膜(Parylene)是一种通过化学气相沉积(CVD)工艺形成的超薄聚合物保护层,具有分子级均匀覆盖、化学惰性、优异介电性能及生物相容性等特点。
该型号的派瑞林真空镀膜机 Parylene镀膜系统具有以下特点:
1、该型号Parylene镀膜系统既适用于科研实验室,也可用于生产环境;
2、特别针对中小型企业和研发团队的需求进行功能优化;
3、通过配置多种可选组件,进一步提升设备的适用性与灵活性,其工艺腔室容积可根据需求调整,最小容积可达 251 L;
4、设备标准配置包含等离子体处理模块;
5、提供洁净室专用版本供选择;
Parylene涂层典型应用:
电机防护:微型电机绕组、轴承的防腐蚀与润滑保持,盐雾寿命提升10倍
半导体封装:芯片级防潮、MEMS器件三维结构保护及晶圆临时镀膜
LED照明:提升光提取效率、散热性能及耐候性,寿命延长至7万小时
汽车电子:ECU模块防护,耐受-40~150℃温度波动及盐雾环境
Labcoater Series 300 派瑞林真空镀膜设备:
尺寸 | L:1220mm W:1050mm H:1920mm |
重量 | 110kg |
腔体容量 | 25/35/40/80L |
工艺腔体 | 300mm Ø,H: 300mm (25 Liter) 300mm Ø,H: 350mm (35 Liter) 450mm Ø,H: 500mm (80 Liter |
等离子源 | 2.45GHz,600 W |
气路 | 1 路气体通道(内置工艺腔室的气体分配系统),最多可扩展至 3 路气体通道。 |
冷却系统 | 4L(机电式冷阱) |
真空系统 | DIN 40 ISO-KF |
排气 | 电磁式排气阀 |
真空泵 | 抽速50m³/h |
电气连接 | 三相五线制,交流 50 Hz,电压 400 V / 240 V,最大功率消耗 8.5 kW |
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